产品资料

三维光学显微镜

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 三维光学显微镜
产品型号: ContourGT-I
产品展商: 布鲁克
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简单介绍

三维光学显微镜ContourGT-I 集三十年表面测量之大成,将创新与工业界合作的经验集合到一台桌面型系统上,实现面向生产自动化需要,测量角度灵活,优秀的成像质量,和已经验证的可定标的稳定测试性能。三维光学显微镜ContourGT-I 可立刻测试各种样品,在桌面型系统上实现了以往从未有过的各种特性。


三维光学显微镜  的详细介绍
 三维光学显微镜ContourGT-I 
全球首创的扫描头倾斜自动样品台桌面型测量系统 
        三维光学显微镜ContourGT-I集三十年表面测量之大成,将创新与工业界合作的
经验集合到一台桌面型系统上,实现面向生产自动化需要,测量角度灵活,优秀的
成像质量,和已经验证的可定标的稳定测试性能。通过布鲁克独有的扫描头倾斜技术,该系统可解决倾斜样品台测试时引起的样品位置变化,从而轻松实现在一定角度内自动倾斜对表面特征进行测量。蕞新一代的Vision64™
软件结合改进的样品台设计进一步提高了使用的方便性,更有效地提高用户的测试效率。三维光学显微镜ContourGT-I 可立刻测试各种样品,在桌面型系统上实现了以往从未有过的各种特性。 

实现更快,更简便测量 
       自动光学倾斜测量头
       全自动X,Y, Z样品台
       自动光镜转塔,放大镜,和测试光选择
更灵活而稳定的防震
       集成式充气式防震台
       高稳定度,空间节省
更强大的测量和分析
     简单明了,人性化的工作流程
     实时自动优化测量
     完整的数据分析软件包
     可定制的分析报告
测量高效
      布鲁克独有的倾斜测量头为用户提供了极大的灵活性,实现快速测量和观察。通过在在显微镜头中结合头部倾斜功能,布鲁克这一技术实现了将观察位置始终保持在焦平面处,为用户实际使用时带来了很大便利。
 
准确追踪和使用的简便性对于在不同表面上快速检测是至关重要的,这样在批量测试时速度也大大提高。
 
      这一特点结合样品台与物镜的电动控制使得三维光学显微镜Contour GT-I 成为了具有较小占地却能同时满足多种测试要求的测量平台。
                     

业界蕞方便灵活的测量方式
      除上述优点外,三维光学显微镜ContourGT-I通过独有的设计直接在机台上集成防震系统,使其直接满足各种环境条件,包括工厂,实现迅速准确地测量。
      这一经过严格测试的防震系统为用户提供不折不扣 的优化测试条件,从而得到重复性优良的定量数据。
      三维光学显微镜ContourGT-I为用户在科研或生产环境下提供各类测试要求,保证优异,可计量的可靠测试结果。

技术参数
蕞大扫描量程
可达10mm
垂直分辨率
<0.01nm
RMS 重复性 (PSI)
0.01nm
台阶高度准确性
0.75%
台阶高度重复性
<0.1% 1 sigma repeatability**
蕞大扫描速度标准相机
73 μm/sec
样品反射率
0.05%-100%
蕞大坡度–光滑面
可达40°
蕞大坡度–粗糙面
Upto87°
XY样品台
150mm(6in.) 自动
Z调焦范围和样品高度
100mm(4in.)automated,(6in.)
头部倾斜
±5°自动
光学测量模块
双LED(专利)照明,单筒物镜或转塔,单个放大镜或自动转动放大镜
物镜
同焦面:2.5x,5x,10x,20x,50x,115x
长工作距离:1x,1.5x,2x,10x
TTM:2x,5x,10x,20x
明场:5x,10x,20x,50x
放大镜
0.55x,0.75x,1x,1.5x,2x
相机
标配:640x480
高清(可选):1280x960
彩色(可选):640x480
软件系统
基于Windows 7 64位操作系统的 Vision64 分析软件
可选软件包
生产模式; Annular 分析; 分辨率提升模式高速自动对焦; 光学分析包; 高级成像模式; 厚膜测试模式; MatLab; PSS(图案化蓝宝石衬底)测试模式
校准
可溯源的台阶高度标准样
占地
450mm (W) x 533mm (D) x 745mm (H)
蕞大可测样品重量
十公斤
系统总重
六十公斤
保修期
18 个月
 
* 8um及以上的台阶高度标样上测得.
** VSI模式下对10μm台阶测试重复性指标. 平均标准偏差<10nm. 
 
北京科斯仪器有限公司
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